Ultra Long Working Distance Zoom Microscope
챔버 내에 존재하는 시료의 확대 관찰 Ultra Long Working Distance Zoom Microscope: UWZ2
Union UWZ2 Series는 진공챔버 내의 시료, 고온 발열체 등 접근하기 어려운 공간에 위치한 물체를
원거리에서 확대 관찰하는 특수현미경입니다.
Union Optical은 축적된 렌즈 연마 가공기술과 노하우로 망원경의 기술을 접목하여 초장작동 (Ultra Long Working Distance )
Zoom Microscope를 개발하였습니다.
고배율 대물렌즈와 14:1 줌(Zoom) 경통의 조합으로 고배율 고해상 이미지의 확대 관찰을 실현하였습니다.
조명 광학계는 동축 낙사 조명과 사광 조명 등을 채용하여 다양한 관찰을 가능하게 하고,
긴 작동거리로 발생하는 내면 반사(플레어 빛)를 편광판 및 1 / 4λ 파장판으로 차단하여 선명한 이미지를 관찰할 수 있습니다.
기존의 광학계에서는 불가능했던 진공 챔버 내의 시료 또한 고온샘플 등 접근하기 어려운 공간에 위치한 시료의 관찰 조립 조정 등 충분한 작업 거리를 확보 할 수 있으므로 AFM 등의 정렬 광학계로 응용될 뿐만 아니라 생물 · 바이오 분야 및 의료 등에서도 활약을 펼치고 있습니다.
일례로, 일본 소행성 탐사기 '하야부사'가 소행성 '이토 카와'가 채취한 미립자를 챔버의 컨테이너에서 찾아 샘플링 할 수 있었던 것은 Union UWZ2 기술에 의한 것이었습니다.
프로브와 전극부의 얼라인먼트를 관찰 Wire bonding 작업 전극부의 얼라인먼트를 관찰 하는 중
UWZ100 | UWZ200 | UWZ300F | UWZ400F | UWZ500F | |
줌 비율 | 14 | ||||
광학 배율 | 1.5 ~ 21x | 0.7 ~ 9.8x | 0.45 - 6.27X | 0.34 - 4.78X | 0.28 - 3.84X |
종합 배율 | 90 - 1260X | 42 - 588X | 27 - 376X | 20 - 286X | 17 - 230X |
작동 거리 | 100mm | 205mm | 300mm | 400mm | 500mm |
1/4λ 파장 판 | N.A | 195mm | 290mm | 390mm | 490mm |
물체측 N.A. | 0.3 - 0.2 | 0.014 - 0.093 | 0.009 - 0.065 | 0.007 - 0.05 | 0.0058 - 0.04 |
분해능 (um) | 11.2 - 1.7 | 24 - 3.6 | 37.28 - 5.16 | 47.93 - 6.71 | 57.84 - 8.39 |
초점 심도(um) | ± 318 - 7 | ± 1400 - 31 | ± 3395 - 65 | + 5612 - 110 | + 8174 - 172 |
물체측시야 φ | 5.3 - 0.3 | 11.4 - 0.8 | 17.8 - 1.28 | 23.5 - 1.67 | 28.6 - 2.08 |
이미지 서클 | 8mm C-mount, 1/2-inch 카메라 대응 | ||||
보정 파장 | 400nm - 700nm | ||||
조명 방식 | 동축 낙사 조명(기본) | ||||
옵션 | 외부조명 (Halogen, Metal Halide, LED) Focusing Unit, Stand |