Non Contact Thickness Measuring Microscope System
THS Series는 광학식 초점 검출방식을 기반으로 한 비접촉식 두께/ 높이/ 깊이 측정 시스템입니다.
THS 시리즈는 비접촉식 측정을 위해 상하 두 개의 현미경 광학계와 인덱스 계수 선을 사용한 정밀한 초점 표시기가 통합되어 있습니다.
측정 지점의 표면을 관찰하여 두께를 최대 10mm까지 측정 할 수 있습니다.
특수 광학기구 '타겟마크'에 의해 정확한 초점 조건을 눈으로 직접 확인할 수 있습니다.
THS-20은 Auto Focus 시스템과 전동 스테이지를 결합한 전자동 시스템입니다. 펄스 모터 구동에 의한 X, Y 또는 Z 좌표 위치, 피치 피드 등은 순차 운전으로 측정됩니다. 이미지 방식의 오토포커스 기능을 채택하여 작업자별 개인차가 없는 반복작업결과의 높은 신뢰성을 보증합니다. 또한 윈도우 기본 사용자 인터페이스를 통해 사용자 편의성이 향상되었습니다.
| Model | THS-10 | THS-20 | THS-206 | THS-208 |
| Measuring Method | Manual | Auto | ||
| Size of Specimen | 4 inches | 6 inches | 8 inches | |
| Measuring area | X:100mmY:100mm | X:150mm Y:150mm | X:200mm Y:200mm | |
| Resolution | 1µm | 0.1µm | ||
| Repeatability | - | 1σ=0.5µm (testing block gauge) | ||
| 적 용 분 야 | |
| Semiconductor parts | Siliconwafers. Lead frame fingers, etc. |
| Electronics parts | Printed circuit boards, Hybrid IC steps, etc. |
| Others | Lid of can, Aluminum sheet, Magnetic tapes, Films, etc. |
